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亚亚科技隐崩检查机
2016-07-01 17:54:44 |
亚亚科技隐崩检查机,针对切割道检查,封装厂多用来进行晶圆切割(die saw)后的隐崩检测。
消费性电子产品轻薄化与多功能化已经是市场趋势,因此IC封装厂在进行薄型化制程时,就必须克服应力或切割所产生的晶片边缘崩裂(Edge Chipping),晶片正面崩裂(Front side chipping)及晶片背面崩裂(Back side chipping)等难题。而背面崩裂,或晶片内层崩裂因无法用肉眼判断,称之为隐崩。
亚亚科技针对晶圆切割后隐崩做检测,全自动的IR检查系统,可搭配自动上下料模组,针对整面晶圆做检测; 软体具备wafer mapping,及自动判断功能,可记录缺陷位置,输出缺陷影像及统计资讯,提供封装厂切割后品质管控方案。亚亚隐崩检查机无需移除Dicing tape或取下单一die,即可全面检测,也同时适用于8” 及12” 晶圆。
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